丰富外延衬底

基于平面蓝宝石(FSS)、纳米图形化蓝宝石(NPSS)或SiC…

外延厚度可定制

在不同衬底上,生长厚度50~5000nm的高质量的AlN或AlGaN单层/多层结构

高铝组分外延

尤其擅长AlN或高Al组分AlGaN基模板或全结构外延定制,最佳Al组分≥0.4

多种光电器件

可定制生长紫外探测器、LED、HEMT等AlGaN基器件全结构半导体材料

专业、专注、专长

长期开展AlN/AlGaN基光电器件研发,拥有一支高素质外延团队,材料定制化生长经验丰富

华中科技大学技术团队多年研发经验积淀
团队主要成员参与多起973、国家重点研发计划
自主研发高温MOCVD设备,满足AlN/AlGaN材料生长需求
外延片材料得到深紫外UVC-LED大规模商用验证

世界一流的AlN/AlGaN外延模板

得益于长达十年的高温MOCVD外延生长经验,尤其擅长AlN及Al组分高于0.4的AlGaN的外延生长及n型掺杂

AlN模板

2英寸,XRC (002/102) ≤ 80/400 arcsec,厚度均匀性(5%),AFM RMS(<1nm),厚度1~3um可调

AlGaN模板

基于高质量AlN模板的原位生长AlxGa1-xN模板,Al组分0.4~1可调,n型掺杂激活浓度≥3e18 cm-3

产品型号 产品类别 产品图片 晶体质量 (002) 晶体质量 (102) 外延层厚度 表面粗糙度 边缘扣除 规格书
WAlN-SA400 Sapphire/AlN外延片/模板 ≤ 80 arcsec ≤ 400 arcsec 2~3 μm ≤ 1 nm ≤ 3 mm
WAlN-NS400 NPSS/AlN外延片/模板 ≤ 200 arcsec ≤ 200 arcsec ≥ 5 μm ≤ 1 nm ≤ 3 mm
WAlN-SC001 SiC/AlN外延片/模板 50~5000 nm
WAGN-AN001 AlGaN外延片/模板 ≤ 300 arcsec ≤ 500 arcsec 1~2 μm ≤ 2 nm ≤ 3 mm

因为专注,所以专业

BOB综合体育官网登录入口外延团队生长的全结构材料在制作成器件后,已经进入民用生活、工业应用、空间探测方方面面