WAlN-SC001规格书
页脚
版本:2019-09-07

BOB体育平台网站

产品规格书
SPECIFICATIONS

深紫外核心材料 · SiC/AlN外延片/模板

WAlN-SC001

50~5000 nm,(002) ,(102)

BOB体育平台网站

Hubei DUVTek Co., LTD.

湖北省鄂州市梧桐湖新区凤凰大道9号东湖高新科技创意城B08栋
Building B08, Donghu High-tech Innovation City, No. 9 Fenghuang Avenue, Wutong Lake New District, Ezhou, Hubei, China

  • 规格参数 Characteristics
  • 性能 Properties 参数值 Value
    直径 Diameter2 inch (50.8±0.05 μm)
    衬底类型 Substrate6H/4H-SiC <0001>±0.5°, N type, D degree
    衬底厚度 Substrate Thickness330±25 μm
    外延层厚度 Epilayer Thickness50~5000 nm
    (002) 晶体质量 Crystal quality (FWHM of 002 XRC)
    (102) 晶体质量 Crystal quality (FWHM of 102 XRC)
    正面粗糙度 Front side roughness
    边缘扣除 Edge exclusion
    贯穿裂纹 Through Crackundefined
    a面(11-20)取向 Surface orientation of a-plane
    m面(11-20)取向 Surface orientation of m-plane
    定位边晶向 Primary flat orientation
    定位边长度 Primary flat length
    反面粗糙度 Back side roughness